真空滅弧室耐壓測(cè)試公式
本文作者:大禹漢光 發(fā)布時(shí)間:2016-05-11
致使真空滅弧室壓強(qiáng)繼續(xù)升高的最重要的緣由是漏孔漏氣。抱負(fù)真空室的漏氣率應(yīng)為零,但在實(shí)踐使用中是不可能的。在真空滅弧室的制作進(jìn)程中,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀能夠檢測(cè)出漏氣率大于1x10-7Torr?升/秒(1Torr=133.322Pa)的商品。而經(jīng)過(guò)靜置寄存能夠?qū)⒙饴蚀笥?x10-11Torr?升/秒的商品檢出。可是若是需求真空滅弧室能到達(dá)運(yùn)用壽數(shù)(通常為10-20年),那么由公式:
Q=V(P2-P1)/T
式中:Q—漏氣率(Torr?升/秒);
V—真空滅弧室的內(nèi)部容積;
P—真空滅弧室的內(nèi)部真空壓力。
可算出滅弧室的答應(yīng)漏氣速率只能到達(dá)10-13數(shù)量級(jí)。而氣體浸透的速率現(xiàn)已挨近這個(gè)答應(yīng)值。因而1x10-11Torr?升/秒的漏氣率對(duì)滅弧室的運(yùn)用壽數(shù)仍有較大影響。而一些存在制作缺點(diǎn)的真空滅弧室會(huì)在運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)程中因各種因素致使漏氣加重,這更大大縮短了真空滅弧室的運(yùn)用壽數(shù)。
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